Фотолитографический метод создания тонкопленочных ВТСП структур: Лабораторный практикум
Сычев С.А., Серопян Г.М., Позыгун И.С., Семочкин В.В.
Материал соответствует Государственному образовательному стандарту по специальности 010400 ''Физика''. Даются представления о фотолитографическом методе создания тонкопленочных структур с использованием метода сухого травления и, в частности, микроструктур из тонких ВТСП пленок для изготовления элементов сверхпроводящей криоэлектроники. Может быть использован студентами других специальностей
వర్గాలు:
సంవత్సరం:
2004
ప్రచురణకర్త:
Изд-во ОмГУ
భాష:
russian
పేజీల సంఖ్య:
14
ఫైల్:
PDF, 267 KB
IPFS:
,
russian, 2004
Litres
మీ పుస్తక దుకాణాన్ని జోడించాలనుకుంటున్నారా? support@z-lib.do వద్ద మమ్మల్ని సంప్రదించండి
ఫైల్ converter
మరిన్ని శోధన ఫలితాలు
మరిన్ని ప్రయోజనాలు 
కీలక పదబంధాలు
సంబంచిన పుస్తక జాబితాలు
